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Suche nach: Schlagwort = Photoresist und Sammlung = ULB Düsseldorf

Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa 2 Cu 3 O 7
Bade, Thomas
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1994
Tandem-Photolithographie-Verfahren
Sachse, Hermann
Als Ms. gedr., Düsseldorf : VDI-Verl., 1995